9月20日，在广州市增城区，我国第一条12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目——增芯科技封顶。该项目一期批复投资70亿元，总投资达370亿元。

项目计划2025年底达成月产能2万片目标

广州增芯科技有限公司由广州湾区智能传感器产业集团发起成立，总部位于国家级增城经济技术开发区核心区内，为MEMS（微机电系统）制造生产线项目，MEMS被看作是未来传感器最重要的类型之一。

广州增芯科技有限公司总经理张亮告诉记者，增芯项目与全球同行同步，与我国同行企业差异化发展。项目将构建“MEMS+BCD+逻辑工艺”三大工艺平台，设计月产能2万片，一期工艺技术采用MEMS力学传感器和130-55纳米成熟制程，同时开启28纳米研发预产。

项目一期工程于2022年12月开工，2023年9月完成主体结构封顶，计划2023年12月开始设备搬入，2024年6月开始进行研发流片；2025年12月达成月产能2万片目标。

“我们用时8个月，实现了近20万平方米建筑的全面封顶，为项目2024年顺利投产打下了坚实的基础。”张亮介绍，项目即将转入机电安装阶段，已经完成了关键设备的采买，确保首台设备年底搬入，力争明年一季度完成项目竣工及验收。

项目在全力推进智能传感器、BCD与逻辑工艺平台研发与建立的同时，仅仅在MEMS工艺平台上，已与数家MEMS设计骨干企业签订合作协议，共同定制工艺设备、开发特色工艺技术，包括但不限于加速度传感器、惯性传感器磁传感器、基因测试，芯片、微流控芯片、硅基麦克风芯片等，契合未来10年全球MEMS产业市场数倍增长、我国MEMS本土产业数十倍增长的发展趋势。

此外，增芯还是我国少有的全市场化资金来源的芯片制造项目，是我国市场化程度最高的集成电路产业平台之一，是广东省、广州市和广州湾区智能传感器产业集团有限公司反复酝酿后搭建的产业集群发展载体。

力争2035年形成千亿级智能传感器产业集群

近年来，广东省提出发挥广州、深圳、珠海的辐射带动作用，形成“重点突出、错位协同”的集成电路产业发展空间格局。广州市打造以黄埔为核心，南沙、增城为两极的“一核两极多点”集成电路产业格局。

活动当天，广州增城智能传感器产业园正式亮相，将依托广州东部中心，聚焦MEMS特色工艺核心优势，着力打造成为产业生态齐全、集聚效应明显、产业能级高端的大湾区增城智能传感器产业园。

增城区有关负责人介绍，广州增城传感器产业园规划总面积约11700亩，目前已完成供地约6000亩，包括增城开发区核心区、仙村园区等2个组团，与科教城组团、翟洞组团共同构成以智能传感器制造为核心的“一核两带四组团”泛半导体产业发展格局，为东部中心现代产业体系提供重要支撑，通过广深港澳科技创新走廊向西联动黄埔，向南联动深莞，辐射粤港澳大湾区。

增城目前已布局了增芯、越海等一批骨干项目，覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节：落户项目14个，总投资约1215亿元，预计年产值约1296亿元，包括国内第一条12英寸MEMS智能传息器晶圆制造项目增芯科技、全省唯一先进封装项目越海集成、广东工研院12英寸特色工艺中试平台、刻蚀机龙头企业中微公司等。

预计到2030年，增城将实现智能传感器“研发设计-材料装备-生产制造-封装测试-终端应用”全产业链条集聚；到2035年，形成千亿级智能传感器产业集群，助力广东打造中国集成电路产业“第三极”。

南方+记者 黄楚旋 郜小平 许宁宁