在肇庆高新区有一家厉害的创新型企业，填补了我国半导体行业的多项空白。

这就是中导光电设备股份有限公司（下称“中导光电”）。

2006年，公司董事长李波怀着一颗热忱的爱国之心，回国来到肇庆这片热土创立中导光电，用专业和实力振兴民族高科技产业。

中导光电设备股份有限公司创立于2006年，于2010年搬迁到肇庆高新区，2016年在新三板挂牌，该公司主营业务以平板显示产业（FPD）自动光学检测设备（AOI）为主导，以集成电路（IC）工业制程检测设备为前沿，以太阳能电池（PV）工业检测设备为扩展。在FPD领域，公司AOI产品形成了完整的产品家族，检测灵敏度达到亚微米级；在IC领域，检测设备产品覆盖制造过程的检测和量测两大应用。公司核心技术源于自主知识产权，累计国内外发明专利和软件著作权共计百余项，并承担了国家、省和市级多项重大项目，为泛半导体工业厂家提供快速高质的定制化设备和技术解决方案。

中导光电是国内一家为平板显示面板前道制程提供专业光学检测设备的供应商，产品均为国内首创，技术水平达世界一流。

随着半导体产业的不断发展，面对层出不穷的竞争对手，中导致力于自主创新，每年投入上千万进行创新研发。通过提高产品附加值，在竞争中脱颖而出。

早在2015年，中导光电开发的平板显示和光伏工业设备产品就有10余种，产品性能均达到世界一流水平。据相关负责人介绍，中导光电生产的自动光学检测设备，适用于国内多个行业，填补了国内半导体装备的空白，也解决长期受制于进口的困扰。

2020年中导光电研制的国产11代线高端量测设备（CDOL：自动线宽测量机）正式交付，这是中导光电公司除AOI系列之外的另一拳头产品，也是继G8.5代线以下平板显示高端量测设备国产化之后又一次重要突破。该设备主要应用于平板显示前道制程领域的关键线宽尺寸测量，测量度达到亚微米级，重复精度（3σ）达到20nm，处于国内领先和国际先进水平。

自成立以来，中导光电一直致力于科技强企战略，并不断填补国内相关行业空白，补齐平板显示高端量测设备的短板，并与京东方、TCL华星、天马微电子、信利等国内多个主要平板显示制造企业建立了良好合作关系。截至去年，中导光电累计销售各类高端检测设备产品逾300台套，装机范围覆盖中国大陆及中国台湾数十条重要产线。

半导体芯片制程缺陷检测设备，一直是我国半导体产业中的短板，并长期依赖进口受制于人。中导光电的团队希望通过自身专业助推我国芯片制造领域强大起来，挺起民族脊梁。

据介绍，半导体产业中的检测设备主要包含前道检测（制程过程中工艺检测）和后道检测。前道检测工艺对芯片制造有着至关重要的意义，它是提高产线良率、降低生产成本的重要环节，在很大程度上决定了代工厂的竞争能力。芯片制造厂商的成败依赖于产品的良率，良率不达标会显著影响厂商的成本与收益。如不能在检测技术上获得核心技术的突破，不仅丢失巨额利润，也会被“卡脖子”，这无疑是中国芯片产业的巨大损失。

在团队的努力下，经过多年的液晶面板检测技术积累，该公司已自主研发完成了高精度高速度光学检测系统、多角度多波段高功率照明系统、高度动态边检边拍技术、高速精密大型运动平台、高速缺陷检测算法、人工智能缺陷分类算法、高速高精度运动控制系统、自动检测UI软件等多项先进技术，并申请了几十项发明专利。

做缺陷检测设备要“耐得住寂寞，经得起诱惑”，因为大多数人都会把目光放在成功的芯片制造商身上，而中导光电团队的工作就是守护在这些客户身后，做无名英雄。

肇庆高新采编中心编辑部

文字 刘莹镔 吴君

编辑 李颐娜